Pengaruh Tekanan Sputtering Terhadap Kekasaran Permukaan Dan Interaksi Butiran Magnetik Dalam Lapisan Tipis Cobalt-Samarium

Abstract

Telah dilakukan penelitian tentang Pengaruh Tekanan Sputtering Terhadap Kekasaran Permukaan danInteraksi Butiran Magnetik Dalam Lapisan Tipis Cobalt-Samarium (CoSm) dengan menggunakanAtomic Force Microscopy (AFM) dan Alternating Gradient Force Magnetometry (AGFM). TekananSputtering divariasi dari (4, 8, 12, 16 dan 20)x10-3 mbar, ternyata kekasaran permukaannya adalah (2,2;3,1; 3,2; 5,3 dan 5,8)nm dan interaksi butiran magnetiknya (0,49; 0,42; 0,30; 0,23 dan 0,20) sedangkannilai koersivitasnya adalah (1821,10; 1525,45; 1230,90; 920,75 dan 345,35)oersted.Terlihat bahwa kekasaran permukaan cenderung bertambah dengan naiknya tekanan Sputtering,sedangkan nilai interaksi butiran magnetik dan koersivitasnya cenderung menurun denganbertambahnya tekanan Sputtering.